용인 HORIBA 그룹의 물(수질) 및 다양한 액체 계측 사업을 담당하는 호리바 어드밴스드 테크노(본사 교토)는 광섬유식 비접촉형 약액 농도 모니터 ‘CS-900F’를 26일 출시했다고 발표했다.

제품 메인 본체(왼쪽)와 셀 유닛(오른쪽)

반도체 세정 장비 내부 설치 이미지

반도체 웨이퍼의 세정 및 에칭 공정에서 사용되는 약액의 농도를 측정하는 ‘CS’ 시리즈는 1995년 출시 이후 고객의 요구에 맞춰 지속적으로 진화해 왔다.

신제품 ‘CS-900F’는 배관 부착만으로 약액을 비접촉으로 측정할 수 있는 방식을 채택해 약액 누출 및 오염 위험을 낮출 수 있다.

또한 광섬유 케이블을 도입해 분광기를 메인 유닛 쪽으로 장치를 이전함으로써 장치 내부에 설치하는 셀 유닛의 부피를 기존 대비 약 60%(기존 장비 대비) 감소시켰다.

대폭적인 소형화를 실현했으며, 안정성을 강점으로 내부 레퍼런스 메커니즘을 탑재해 외부의 영향을 줄이면서도 높은 측정 정확도를 유지하고 장치 내부의 설치 면적을 감소시킬 수 있게 됐다.

아울러 취급할 수 있는 약액 종류를 늘려 ‘CS’ 시리즈의 플래그십 모델로서 안정성과 범용성을 갖춘 제품으로 새롭게 선보였다.

개발 배경

반도체 제조 공정에서 약액 처리는 웨이퍼의 표면 처리의 균질성에 영향을 미치는 등 수율을 좌우하는 중요한 공정으로, 약액의 엄격한 관리가 필요하다. 호리바 어드밴스드 테크노는 이러한 점들을 고려해 배관 내부의 약액에 직접 닿지 않고도 측정 결과를 얻을 수 있는 비접촉식 약액 농도 모니터 ‘CS-900’을 2019년에 개발 출시했다.

CS-900의 시리즈 기종인 본 제품은 반도체 산업에서 공통으로 요구되는 설치 면적 감소를 목표로 광섬유 방식을 채택했다. 이를 통해 고객 장비 내부에 설치하는 셀 유닛의 부피를 기존 대비 약 60% 감소시켰다. ‘CS’ 시리즈 출시 이후 30년의 역사를 통해 쌓은 기술을 활용해 시장의 요구에 부응하면서 더 확대된 보급을 목표로 한다.

제품 특장점

1. 제품의 소형화와 안정 측정의 두 가지 양립

메인 유닛과 셀 유닛을 광섬유 케이블로 연결하는 방식을 도입해 기존에 셀 유닛에 내장돼 있던 분광기를 고객의 장치 외부에 설치하는 메인 유닛으로 옮길 수 있게 됐다. 이에 따라 셀 유닛의 부피가 기존 대비 60% 감소했다.

메인 유닛의 분광기를 이전함과 동시에 셀 유닛의 CS시리즈의 장점이었던 높은 안정성을 자랑하는 내부 레퍼런스를 탑재함으로써 진동 등 외부의 영향을 줄여 안정 측정을 실현한다.

2. 측정 가능한 약액 종류 확대

기존 제품의 우수성을 계승한 신제품은 최고 80℃ 고온 약액을 포함한 다양한 약액 측정이 가능하다. 또한 파장 영역대를 기존의 3배 확대함으로써 대응 가능한 약액 종류를 대폭 확장했다.

표준 SC-1(암모니아-과산화수소용액)을 비롯한 질산, 인산, 초산의 혼합액 등의 복잡하고 위험한 약액을 사용하는 공정에도 전처리 없이 고온 약액을 직접 측정할 수 있어 안전한 작업 환경에 기여한다.

호리바에스텍코리아 소개

HORIBA 그룹은 차량 연구 개발, 프로세스 및 환경 모니터링, 체외 의료 진단, 반도체 제조 및 측정뿐 아니라 R&D, QC와 같은 다양한 분야에 적용되는 광범위한 시스템과 솔루션을 전 세계 시장에 제공하고 있다. HORIBA 브랜드는 입증된 품질과 신뢰할 수 있는 성능으로 고객들에게 믿음직한 파트너로 인식되고 있다.

네이버 블로그: https://blog.naver.com/horiba-stec-korea

웹사이트: https://www.horiba.com/kor/