도쿄, 일본 다나까귀금속의 산업용 귀금속 사업을 전개하는 다나까귀금속공업(TANAKA PRECIOUS METAL TECHNOLOGIES Co., Ltd., 본사: 도쿄도 주오구, 대표이사 사장 집행임원: 다나카 코이치로)이 반도체 패키지 제조 전공정에서 사용되는 프로브 카드용 프로브 핀 로듐(Rh) 소재 ‘TK-SR’(티케이에스알)을 공개했다. 이 제품은 11월 20일(목)~21일(금)에 후쿠오카현에서 개최되는 ‘SWTest Asia 2025’에서 부스 전시 및 패널 전시를 진행하며 11월 말 샘플을 제공할 예정이다.

‘TK-SR’ 제품 이미지

다나까는 반도체 제조의 전공정 및 후공정에서 시행되는 검사 장치용으로 다양한 귀금속 프로브 핀용 소재를 제조해 제공하고 있다. ‘TK-SR’은 프로브 핀용 로듐 소재로서 기존 프로브 핀용 소재로는 불가능했던 고강도, 고탄성한계, 고경도, 고전도율을 동시에 달성했다. 이에 프로브 카드의 장수명화, 저비용화가 기대된다.

로듐을 소재로 한 프로브 핀은 로듐 자체의 물성으로 인해 다른 소재에 비해 고강도, 고탄성한계, 고경도, 고전도율을 동시에 달성할 수 있을 것으로 기대됐으나, 전도율이 중시되면서 강도, 탄성한계, 경도가 제한돼 왔다. 다나까는 독자적인 가공 기술을 통해 고강도, 고탄성한계, 고경도, 고전도율을 동시에 달성하는 제품 개발에 세계 최초로 성공했다. 또한 선경 18um까지 제공 가능하므로, 점점 더 미세화가 진행되는 최첨단 반도체 패키지의 좁은 피치 정밀 검사에도 대응할 수 있다.

이 제품은 2030년까지 기존 제품의 2배 출하량 달성을 목표로 하고 있다.

프로브 카드는 반도체 전공정에서 실리콘 웨이퍼의 통전 검사를 수행할 때 사용되는 도구로, 한 장당 수천에서 수만 개의 정밀한 프로브 핀이 사용된다. 통전 검사는 미세한 하중을 가하며 수십만 번, 경우에 따라 수백만 번 반복적으로 수행한다. 프로브 핀은 한 개라도 변형이나 파손이 발생하면 교체가 필요하며, 장비에 따라서는 프로브 카드 자체의 교체도 필요하므로 반복적인 하중에서도 변형이나 파손이 발생하지 않는 내구성이 요구된다. 고강도, 고탄성한계 특성을 지닌 TK-SR을 적용해 프로브 핀의 변형 및 파손을 줄일 수 있어 부품 교체 빈도를 낮출 수 있다.

TANAKA는 더욱 확대될 것으로 예상되는 반도체 시장 발전에 이바지하기 위해 노력하고 있다.

참가 전시회 상세정보

· 전시회명: SWTest Asia 2025
· 기간: 2025년 11월 20일(목)~21일(금) 8:00~17:00
· 장소: 힐튼 후쿠오카 시호크(후쿠오카현 후쿠오카시)
· 공식 사이트: https://www.swtestasia.org
· 출품사: TANAKA PRECIOUS METAL TECHNOLOGIES Co., Ltd.
· 부스번호: 506
· 패널 전시 내용: 프로브 핀용 로듐 소재 ‘TK-SR(선)’, 프로브 핀용 팔라듐 합금 소재 ‘TK-FS(선, 판), TK-SK(선)’, 프로브 핀용 구리-은 합금 소재 ‘TK-101(판)’, 프로브 핀용 도금액(각종)

TANAKA 소개

TANAKA 1885년 창업 이래 귀금속을 중심으로 한 사업 영역에서 폭넓은 활동을 전개해 왔다. 일본에서는 톱클래스의 귀금속 취급량을 자랑하며, 오랜 기간에 걸쳐 산업용 귀금속 제품의 제조·판매 및 자산용이나 보석품으로서의 귀금속 상품을 제공하고 있다. 귀금속 분야에 종사하는 전문가 집단으로서 일본 내외의 그룹 각 사가 제조, 판매, 그리고 기술 개발에 연계 및 협력해 제품과 서비스를 제공하고 있다. 2024년도(2024년 12월 말 결산)의 연결 매출액은 8469억엔을 기록했고 5591명의 직원을 두고 있다.

웹사이트: https://www.tanaka.co.jp/english/